在化纤的“impact系列,是传感器的压力,没有传输流体,在高温环境中使用(350°c)。
介质压力通过厚隔膜直接转移到敏感的硅元素上。应变由微晶硅结构(mems)转换。
操作原理是压电式的。
“impact”是gefran的独家系列高温压力传感器,使用的是压敏原理。
“impact”传感器的主要特征是它们不包含任何传输流体。直接定位于接触膜后的敏感元件通过微处理技术在硅中实现。
微结构包括测量膜和压敏电阻。
敏感元件所需要的最小偏转使其有可能使用非常强健的力学。
这个过程接触膜的厚度可以比传统熔体传感器的薄膜厚15倍。
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